半導體設備中常用直線(xiàn)電機有哪些？

       在半導體設備中，根據電機結構常用的直線(xiàn)電機分為兩種：1、平板電機；2、U型電機。下面分別從電機選型抗干擾設計和應用等幾個(gè)方面舉例說(shuō)明。

1、平板電機

       平板電機可以分為無(wú)槽無(wú)鐵心，無(wú)槽有鐵心和有槽有鐵心。有的應用初級比次級長(cháng)，有的比次級短，應用中初級長(cháng)的為主，電機級纜隨著(zhù)動(dòng)子（次級）運動(dòng)。以有槽有鐵心為例，鐵心線(xiàn)圈被放進(jìn)一個(gè)鋼結構里以產(chǎn)生鐵心線(xiàn)圈單元，鐵心有效增強電機的推力輸出。平板具有大推力、高剛度、低嵌齒效應等特點(diǎn)，如圖2所示。該型電機通常用于大推力、長(cháng)行程，且有一定精度要求的場(chǎng)合。另外，相對U型電機所需磁鋼減少一半，價(jià)格相對較低。

2、U型電機

       U型電機又稱(chēng)為雙邊型直線(xiàn)電機，U型槽式直線(xiàn)電機有兩個(gè)介金屬板之間且都對著(zhù)線(xiàn)圈動(dòng)子的平行磁軌。動(dòng)子是非鋼的，磁場(chǎng)和推力線(xiàn)圈之間無(wú)干擾力產(chǎn)生，最小化了強大的磁力吸引帶來(lái)的傷害。非鋼線(xiàn)圈慣量小，允許非常高加速度。該型電機具有無(wú)嵌齒效應、較大持續推力和峰值推力等特點(diǎn)，通常用于中小推力、小步距和高定位精度的場(chǎng)合。其動(dòng)子有T型和L型，其中T型制作成本稍高，?熱性較好。剛性相對平板有鐵心電機較低，負載慣量比較好低，對機械機構裝配要求較高，尤其是動(dòng)子內側端部和定子內側端部的間距要適當，若間距過(guò)大則電機輸出力會(huì )出現明顯的衰減。

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